GEM Testing

我們提供設備 GEM 測試服務,在您的設備還未到工廠端之前就幫您測試,減低工程師到無塵室裏面測試的壓力。

如果您是工廠端可委託我們幫您代測即將進廠的設備,在進廠之前就確認所有 SECS 功能皆完成,減低工廠端 CIM 人員建置的壓力。

我們的 GEM 測試皆為程式自動測試,會附上一份極專業的測試報告以及一份證書。

報告中會有細部的 HSMS Log,證明機台確實有達到功能,還會測試 SEMI Standard 所規範中需要執行的項目。

例如:EQP 端在建立連線之後須主動發出 S1,F3 的 Stream Function

所以只要經過我們測試通過的機台,就會是符合標準的 SECS/GEM 機台

測試分為三個階段

Level 1

  1. Establish Communications
  2. Host-Initiated S1=F13/F14 Scenario
  3. Equipment Processing State
  4. State Models
  5. On-Line Identification
  6. Error Messages
  7. Equipment Terminal Services
  8. Control (Host-Initiated)
  9. _Clock
  10. AlarmManagement

Level 2

  1. Level 1 的所有項目
  2. DynamicEventReportConfiguration
  3. EquipmentConstants
  4. StatusDataCollection
  5. TraceDataCollection
  6. ProcessProgramManagement
  7. RemoteControl
  8. VariableDataCollection

Level 3

  1. Level 2 的所有項目
  2. E87 CarrierManagement
  3. E40 ProcessJob
  4. E90 ControlJob
  5. EventNotification