GEM Testing

我们提供设备 GEM 测试服务,在您的设备还未到工厂端之前就帮您测试,减低工程师到无尘室里面测试的压力。

如果您是工厂端可委托我们帮您代测即将进厂的设备,在进厂之前就确认所有 SECS 功能皆完成,减低工厂端 CIM 人员建置的压力。

我们的 GEM 测试皆为程式自动测试,会附上一份极专业的测试报告以及一份证书。

报告中会有细部的 HSMS Log,证明机台确实有达到功能,还会测试 SEMI Standard 所规范中需要执行的项目。

例如:EQP 端在建立连线之後须主动发出 S1,F3 的 Stream Function

所以只要经过我们测试通过的机台,就会是符合标准的 SECS/GEM 机台

测试分为三个阶段

Level 1

  1. Establish Communications
  2. Host-Initiated S1=F13/F14 Scenario
  3. Equipment Processing State
  4. State Models
  5. On-Line Identification
  6. Error Messages
  7. Equipment Terminal Services
  8. Control (Host-Initiated)
  9. _Clock
  10. AlarmManagement

Level 2

  1. Level 1 的所有项目
  2. DynamicEventReportConfiguration
  3. EquipmentConstants
  4. StatusDataCollection
  5. TraceDataCollection
  6. ProcessProgramManagement
  7. RemoteControl
  8. VariableDataCollection

Level 3

  1. Level 2 的所有项目
  2. E87 CarrierManagement
  3. E40 ProcessJob
  4. E90 ControlJob
  5. EventNotification